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當前位置:首頁 > 產品展示 > 探針臺系統(tǒng) > GP探針臺系列 > GP200SiPH硅光探針臺
簡要描述:硅光探針臺,GP200-SIP系列8英寸探針臺包含硅光芯片的DC&RF&OO測試所需的完整配置,在短時間內可準確地完成芯片的參數(shù)測試與提取。GP200擁有穩(wěn)定且可靠的測試平臺,保證測試中的扎針質量。優(yōu)異的光學系統(tǒng)結合分辨率<2μm的針座系統(tǒng),確保扎針的穩(wěn)定性。
產品分類
探針臺系統(tǒng)
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詳細介紹
型號:GP200-SiPH
8英寸硅光測試手動探針臺
硅光探針臺應用:GP200-SIP系列8英寸探針臺包含硅光芯片的DC&RF&OO測試所需的完整配置,在短時間內可準確地完成芯片的參數(shù)測試與提取。
XY行程
快速定位行程:210mm×210mm; 精調行程: 210mm×210mm ,
精調分辨率:≤ 1.0 μm;驅動方式:手動
Z軸行程
10mm;驅動方式:手動
Theta旋轉
快速旋轉角度:360°;精調角度:±15°,精調分辨率:<0.02°;驅動方式:手動
Chuck臺
尺寸:203mm(8inch) ;真空盤可調節(jié)高度:±5mm
真空快速切換開關,真空調節(jié)檔位:Center、2’、4’、8’
安裝方式:真空盤與主體絕緣
臺面精度
平面度:<10 μm
快速拉出結構
行程:100mm
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